公开/公告号US09052354B2
专利类型
公开/公告日2015-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 HIDEKI TAKENAGA;EIJI IWAMI;TOMOYUKI SAWADA;HIROAKI TSUJIMOTO;KEISUKE YOSHIKAWA;SUGURU FUKUI;
申请/专利号US13392352
申请日2010-08-26
分类号G01R33/02;G01R33/09;H01L43/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:26:58