公开/公告号US9132412B2
专利类型
公开/公告日2015-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;
申请/专利号US201314035834
发明设计人 PENG ZOU;LUPING WANG;BRIAN BOBITA;PAUL J. MARGANSKI;KARL BOGGS;STEVEN M. BILODEAU;J. DONALD CARRUTHERS;DOUGLAS EDWARDS;JOSEPH D. SWEENEY;SHAUN M. WILSON;JOSE I. ARNO;
申请日2013-09-24
分类号B01J20/26;B01J20/28;F25B17/08;F25B27/00;F25B35/04;B01J20/20;B01J20/30;C09K5/04;F25B37/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:22:29