公开/公告号US8968588B2
专利类型
公开/公告日2015-03-03
原文格式PDF
申请/专利权人 JIANPING ZHAO;LEE CHEN;VINCENT M. DONNELLY;DEMETRE J. ECONOMOU;MERRITT FUNK;RADHA SUNDARARAJAN;
申请/专利号US201213436458
发明设计人 RADHA SUNDARARAJAN;JIANPING ZHAO;DEMETRE J. ECONOMOU;LEE CHEN;MERRITT FUNK;VINCENT M. DONNELLY;
申请日2012-03-30
分类号H01L21/302;H01L21/461;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:17:51