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机译：实验室和检查方法
公开/公告号ITPR20130104A1
专利类型
公开/公告日2015-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ONE LOVE DI TARASCONI ERMINA & C. S .A.S.;
申请/专利号IT2013PR00104
发明设计人 SERVENTI FRANCO;
申请日2013-12-20
分类号
国家 IT
入库时间 2022-08-21 15:12:21
机译： 电子束装置，电子束检查方法，电子束检查装置，曝光条件确定方法，图案检查方法，基板检查方法，图案检查装置，基板检查装置和检测器定位方法
机译： 检查结果输出装置，检查结果输出方法，使用该检查结果输出装置的基板检查系统以及使用该检查结果输出方法的基板检查方法
机译： 检查管理装置，检查支持系统，检查管理方法，检查支持方法，检查管理程序和检查支持程序
