A METHOD OF MAKING NANOFIBERS AND MICRO SILICON CARBIDE

摘要

Винахід належить до галузі виготовлення волокнистих матеріалів. Спосіб виготовлення мікро- та нановолокон карбіду кремнію, що включає газофазне осадження карбіду кремнію з метилтрихлорсилану на розігріту підкладку з застосуванням каталізаторів. Причому як підкладку та каталізатор використовується пінонікель, у порах якого рівномірно і в необхідній кількості ростуть мікро- та нановолокна карбіду кремнію, їх кількість регулюють температурою та часом синтезу, а синтез відбувається в температурному діапазоні 900-1300 °С протягом 10-30 хв. Застосування підкладки у вигляді пластинки із пінонікелю дає змогу виростити мікро- та нановолокна карбіду кремнію, які рівномірно і в необхідній кількості розташовані в об'ємі підкладки.