公开/公告号WO2016048622A1
专利类型
公开/公告日2016-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2015US48481
发明设计人 KOMMISETTI SUBRAHMANYAM VENKATA RAMA;LUO HAW JYUE;ISKANDAR JIMMY;LAI HSINCHENG;HAWKINS PARRIS;
申请日2015-09-04
分类号H01L21/66;H01L21/67;G05B23/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 14:18:21