公开/公告号KR20160058359A
专利类型
公开/公告日2016-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS;PUSAN NATIONAL UNIVERSITY INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION;
申请/专利号KR20140159160
申请日2014-11-14
分类号H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 14:14:23