机译:光束分配光学装置,发光装置,其包括SAID型的光束分配光学装置,光学系统,其包括SAID型的发光光学单元,以及投影照明装置,其包括SAID型的光学系统。
公开/公告号EP3111269A1
专利类型
公开/公告日2017-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号EP20150708760
申请日2015-02-23
分类号G02B26/08;G03F7/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:02:12