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Functional coating film, liquid immersion member, manufacturing method of liquid immersion member, exposure apparatus, and device manufacturing method

机译：功能性涂膜，液浸构件，液浸构件的制造方法，曝光装置及装置的制造方法

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摘要

The functional coating to be applied to the surface of the base material includes a film of Ti-doped tetrahedral amorphous carbon (ta-C: Ti film).

机译：待施加到基材表面的功能涂层包括掺钛的四面体无定形碳的膜（ta-C：Ti膜）。

著录项

公开/公告号JPWO2014115755A1

专利类型
公开/公告日2017-01-26

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社ニコン;
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申请/专利号JP20140558589
发明设计人岸梅工;瀧優介;
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申请日2014-01-22
分类号C23C14/06;G03F7/38;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:53:18

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