公开/公告号US2017141002A1
专利类型
公开/公告日2017-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201615089960
发明设计人 ISHTAK KARIM;YUKINORI SAKIYAMA;YASWANTH RANGINENI;EDWARD AUGUSTYNIAK;DOUGLAS KEIL;RAMESH CHANDRASEKHARAN;ADRIEN LAVOIE;KARL LEESER;
申请日2016-04-04
分类号H01L21/66;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:51:15