公开/公告号US2017221778A1
专利类型
公开/公告日2017-08-03
原文格式PDF
申请/专利号US201515515126
发明设计人 MANJUSHA MEHENDALE;MICHAEL KOTELYANSKII;TODD W. MURRAY;ROBIN MAIR;PRIYA MUKUNDHAN;JACOB D. DOVE;XUEPING RU;JONATHAN COHEN;TIMOTHY KRYMAN;
申请日2015-09-29
分类号H01L21/66;G01N29/46;G01N29/24;H01L21/768;G01N29/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:49:25