公开/公告号US2016333495A1
专利类型
公开/公告日2016-11-17
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201514712553
发明设计人 BURHANUDDIN KAGAJWALA;BRYAN L. BUCKALEW;LEE PENG CHUA;AARON BERKE;ROBERT RASH;STEVEN T. MAYER;
申请日2015-05-14
分类号C25D7/12;H01L21/683;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:48:42