公开/公告号US2017193400A1
专利类型
公开/公告日2017-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615394790
发明设计人 KRIS BHASKAR;LAURENT KARSENTI;SCOTT YOUNG;MOHAN MAHADEVAN;JING ZHANG;BRIAN DUFFY;LI HE;HUAJUN YING;HUNG NIEN;SANKAR VENKATARAMAN;
申请日2016-12-29
分类号G06N99;G06F17/50;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:47:12