公开/公告号US9753377B2
专利类型
公开/公告日2017-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201314420311
发明设计人 IRINA LYULINA;MANFRED GAWEIN TENNER;STEFAN CORNELIS THEODORUS VAN DER SANDEN;HAKKI ERGUN CEKLI;RICHARD JOHANNES FRANCISCUS VAN HAREN;
申请日2013-06-27
分类号G03B27/32;G03B27/74;G03F7/20;G03F9/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:47