公开/公告号US9607989B2
专利类型
公开/公告日2017-03-28
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201414560049
申请日2014-12-04
分类号H01L27/092;H01L29/165;H01L29/78;H01L29/45;H01L29/417;H01L29/08;H01L21/8238;H01L29/66;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/285;H01L29/06;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:21