首页> 外国专利> Multi-dopant permeation tube with two chambers for introducing dopants into a spectrometry system

Multi-dopant permeation tube with two chambers for introducing dopants into a spectrometry system

机译:具有两个腔室的多掺杂物渗透管,用于将掺杂物引入光谱系统

摘要

Aspects and embodiments of the present invention are directed to spectrometry systems and for apparatus and methods for delivering dopants to same. In one example, there is provided a dopant delivery device configured to supply dopants to a spectrometry system comprising a tube including a first chamber and a second chamber, a first dopant source included in the first chamber, and a second dopant source included in the second chamber.
机译:本发明的方面和实施例涉及光谱系统以及用于向其输送掺杂剂的装置和方法。在一个示例中,提供了一种掺杂剂输送装置,该掺杂剂输送装置被配置为向包括第一室和第二室的管,包括在第一室中的第一掺杂剂源和包括在第二室中的第二掺杂剂源的光谱系统供应掺杂剂。室。

著录项

  • 公开/公告号US9589778B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-03-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DSA DETECTION LLC;

    申请/专利号US201615000579

  • 发明设计人 STEPHEN SCOTT MILT;TIMOTHY B. BURTON;

    申请日2016-01-19

  • 分类号H01J49/00;H01J49/04;G01N27/62;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 13:41:33

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号