СПОСІБ АЗОТУВАННЯ АЗОТОАКТИВНИХ МЕТАЛІВ В ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ З ПЕРІОДИЧНОЮ ОЧИСТКОЮ ПОВЕРХНІ

摘要

Спосіб азотування азотоактивних металів в тліючому розряді з періодичною очисткою поверхні, при якому процес проходить при незмінних параметрах електричного розряду між деталлю, яка слугує катодом, та корпусом камери або окремою деталлю, які виконують роль анода. В ході процесу з періодом не менше тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища додатково на електроди камери подається короткочасний імпульс напруги порядку 1200 вольт, тривалість якого менша тривалостей формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища та утворення моношару нітридів.