机译:制造用于石印术设备的方法,用于石印术设备的方法,石印术设备,设备制造方法,用于加工细胞的设备以及用于加工细胞的方法
公开/公告号WO2017067813A3
专利类型
公开/公告日2017-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号WO2016EP74280
发明设计人 PÉTER MÁRIA;VLES DAVID FERDINAND;VOORTHUIJZEN WILLEM-PIETER;ABEGG ERIK ACHILLES;GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA;KLOOTWIJK JOHAN HENDRIK;NASALEVICH MAXIM ALEKSANDROVICH;VAN DEN EINDEN WILHELMUS THEODORUS ANTHONIUS JOHANNES;VAN DER ZANDE WILLEM JOAN;VAN ZWOL PIETER-JAN;VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS;
申请日2016-10-11
分类号G03F7/20;B01D67;G03F1/62;G21K1/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 13:31:19