公开/公告号KR20170094520A
专利类型
公开/公告日2017-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 LAPMASTER WOLTERS GMBH;
申请/专利号KR20170018198
发明设计人 BOLLER HANS PETER;
申请日2017-02-09
分类号B24B37/015;B24B37/08;B24B37/10;B24B49/14;B24B7/17;B24B7/22;H01L21/304;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 13:26:51