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Image by means of an electron beam using a monochromator with double Wien filters

机译:使用带有双维恩滤光片的单色仪通过电子束成像

摘要

One embodiment relates to a monochromator with two Wien filters. A first Wien filter focuses the electron beam into a first plane, while the electron beam remains parallel in a second plane. A slot opening allows electrons with energy within an energy range to pass while blocking electrons with energy outside of the energy range. A second Wien filter focuses the electron beam to be parallel in the first plane while the electron beam remains parallel in the second plane. Other embodiments, aspects, and features are also disclosed.
机译:一个实施例涉及一种具有两个维恩滤光器的单色仪。第一维恩滤波器将电子束聚焦到第一平面中,而电子束在第二平面中保持平行。缝隙开口允许能量在能量范围内的电子通过,同时阻挡能量在能量范围外的电子。第二维恩滤光器使电子束在第一平面内聚焦为平行,而电子束在第二平面内保持平行。还公开了其他实施例,方面和特征。

著录项

  • 公开/公告号DE112015001235T5

    专利类型

  • 公开/公告日2016-12-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;

    申请/专利号DE20151101235T

  • 发明设计人 XINRONG JIANG;LIQUN HAN;

    申请日2015-05-22

  • 分类号H01J37/05;H01J49/28;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 13:22:34

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