公开/公告号EP3360154A2
专利类型
公开/公告日2018-08-15
原文格式PDF
申请/专利号EP20160777954
发明设计人 HINRICH ANDREAS;DUCH SUSANNE;MIRIC ANTON;SCHÄFER MICHAEL;BACHMANN CHRISTIAN;ULRICH HOLGER;OSTERWALD FRANK;BENNING DAVID;RUDZKI JACEK;PAULSEN LARS;SCHEFUSS FRANK;BECKER MARTIN;
申请日2016-09-28
分类号H01L21/58;H01L21/60;H01L21/683;H01L23/488;H01L21/48;H01L23/373;H05K3/32;H05K3/34;H05K3/36;H01L23/14;H01L23/495;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 13:17:10