公开/公告号JP2018533218A
专利类型
公开/公告日2018-11-08
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20180520533
发明设计人 サリー;マーク;トンプソン;デーヴィッド;マンナ;プラミット;ベンカタサブラマニアン;エスワラナンド;ショート;アンドリュー;スリイラム;マンディアム;田中 啓一;ブイヤン;バスカー ジョティ;
申请日2016-10-19
分类号H01L21/316;H01L21/31;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/42;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:12:22