公开/公告号US10047431B2
专利类型
公开/公告日2018-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201715828624
申请日2017-12-01
分类号G01N33/531;G01N33/553;C23C14/22;C23C14/34;C12Q1/68;C23C14/12;C23C14/04;G01N33/487;G01N33/543;B82Y15/00;B82Y5/00;G01N33/551;G01N33/533;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:35