公开/公告号US10087520B2
专利类型
公开/公告日2018-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC.;
申请/专利号US201715627952
申请日2017-06-20
分类号C23C16/12;C01B7/13;C01B31/36;C01F7/48;C23C16/448;H01L21/02;H01L21/306;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:09