公开/公告号US10020235B2
专利类型
公开/公告日2018-07-10
原文格式PDF
申请/专利号US201615340849
发明设计人 ERIK LARS SWANBERG JR.;REBECCA J. NIKOLIC;ADAM CONWAY;LARS VOSS;ROBERT T. GRAFF;ART NELSON;STEPHEN A. PAYNE;
申请日2016-11-01
分类号H01L31/115;H01L21/66;H01L31/032;H01L31/18;H01L31/0352;H01L31/08;G01T1/24;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:03:26