公开/公告号US9953836B2
专利类型
公开/公告日2018-04-24
原文格式PDF
申请/专利号US201514607971
申请日2015-01-28
分类号H01L27/092;H01L21/265;H01L21/8238;H01L21/8234;H01L29/66;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/10;H01L21/324;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/161;H01L27/088;H01L29/78;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:41