公开/公告号US2018217510A1
专利类型
公开/公告日2018-08-02
原文格式PDF
申请/专利权人 NIKON CORPORATION;
申请/专利号US201815940549
发明设计人 J. KYLE WELLS;PAUL DEREK COON;MATTHEW D. ROSA;JOHNATHAN MARQUEZ;MICHAEL B. BINNARD;STEVEN DOUGLAS SLONAKER;DANIEL GENE SMITH;STEPHEN P. RENWICK;BRETT HERR;
申请日2018-03-29
分类号G03F7/20;G03F9;H02K41/03;G01D5/347;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:12