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Advanced node standard logic cells that utilizes TS cut mask(s) and avoid DFM problems caused by closely spaced gate contacts and TSCUT jogs

机译:先进的节点标准逻辑单元,利用TS切割掩模,避免了因紧密接触的栅极触点和TSCUT点动所引起的DFM问题

摘要

An improved standard cell chip, library and/or process ensures that there is adequate spacing between TSCUT jogs and nearby gate contacts to avoid inadvertent shorts/leakages that can degrade manufacturing yield or performance.
机译:改进的标准单元芯片,库和/或工艺可确保在TSCUT缓动点和附近的栅极触点之间留有足够的间距,以避免因疏忽造成的短路/泄漏,从而降低制造良率或性能。

著录项

  • 公开/公告号US9984970B1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-05-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PDF SOLUTIONS INC.;

    申请/专利号US201715712686

  • 发明设计人 JONATHAN HAIGH;

    申请日2017-09-22

  • 分类号G06F17/50;H01L27/02;H01L23/528;H01L27/118;H01L23/522;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:56:39

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