公开/公告号US9876160B2
专利类型
公开/公告日2018-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 PARKER-HANNIFIN CORPORATION;
申请/专利号US201314385886
申请日2013-03-20
分类号H01L41/29;H01L41/25;H01L41/253;B05D1/04;B05D1/26;B05D1/28;B05D1/30;B05D1/32;B32B37/24;B32B38;B32B43;C23C14/34;C23C16/44;H01L41/047;H01L41/193;H01L41/45;H01L41/053;H01L41/09;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:55:57