公开/公告号US9966315B2
专利类型
公开/公告日2018-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201615201771
申请日2016-07-05
分类号G03F7/20;G06F17/50;G06F19;H01L21/66;H01L21/302;G01B11/14;G06F17/30;G05B19/042;G05B17/02;G03F1/70;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/308;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:55:08