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Metallic dielectric photonic crystals and methods of fabrication

机译:金属介电光子晶体及其制造方法

摘要

A metallic-dielectric photonic crystal is formed with a periodic structure defining a plurality of resonant cavities to selectively absorb incident radiation. A metal layer is deposited on the inner surfaces of the resonant cavities and a dielectric material fills inside the resonant cavities. This photonic crystal can be used to selectively absorb broadband solar radiation and then reemit absorbed radiation in a wavelength band that matches the absorption band of a photovoltaic cell. The photonic crystal can be fabricated by patterning a sacrificial layer with a plurality of holes, into which is deposited a supporting material. Removing the rest of the sacrificial layer creates a supporting structure, on which a layer of metal is deposited to define resonant cavities. A dielectric material then fills the cavities to form the photonic crystal.
机译:金属介电光子晶体形成为具有周期性结构,该周期性结构限定了多个谐振腔以选择性地吸收入射辐射。金属层沉积在谐振腔的内表面上,并且介电材料填充在谐振腔的内部。该光子晶体可用于选择性吸收宽带太阳辐射,然后重新发射与光伏电池吸收带相匹配的波长带中的吸收辐射。可以通过图案化具有多个孔的牺牲层来制造光子晶体,在该牺牲层中沉积有支撑材料。去除牺牲层的其余部分将创建一个支撑结构,在该支撑结构上沉积一层金属以定义谐振腔。然后,介电材料填充空腔以形成光子晶体。

著录项

  • 公开/公告号US9837953B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-12-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JEFFREY BRIAN CHOU;SANG-GOOK KIM;

    申请/专利号US201615343030

  • 发明设计人 SANG-GOOK KIM;JEFFREY BRIAN CHOU;

    申请日2016-11-03

  • 分类号G02F1/00;G02F1/03;H01L31/00;H02S10/30;C23C16/455;C23C14/04;C23C14/08;G02B1/113;H02S40/44;B82Y20/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:54:18

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