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A reflector measurement system and method of measuring the reflector using the same

机译:反射器测量系统以及使用该反射器测量系统的方法

摘要

The present invention relates to a reflector measuring system and a reflector measuring method using the same. The reflector measuring system includes: an interferometer for irradiating light in a first direction; a reflector spaced from the interferometer in the first direction; a hologram member positioned between the reflector and the interferometer, and forming a focus region of light irradiated by the interferometer at a peak area of the reflector; an optical fiber spaced apart from the hologram member in the first direction; an optical fiber moving unit for positioning one end of the optical fiber on the focus region of light; and a position measuring unit for measuring the position of one end of the optical fiber.
机译:反射器测量系统以及使用该反射器测量方法的方法技术领域本发明涉及一种反射器测量系统以及使用该反射器测量系统的方法。反射器测量系统包括:干涉仪,用于在第一方向上照射光;以及干涉仪。在第一方向上与干涉仪间隔开的反射器;全息元件位于反射器和干涉仪之间,并且在反射器的峰值区域处形成由干涉仪照射的光的聚焦区域;光纤在第一方向上与全息元件隔开。光纤移动单元,用于将光纤的一端定位在光的聚焦区域上;位置测量单元,用于测量光纤的一端的位置。

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