公开/公告号KR20180029722A
专利类型
公开/公告日2018-03-21
原文格式PDF
申请/专利号KR20160118182
发明设计人 JANG MOON SEOKKR;PARK SOON CHULKR;KIM CHAN SOOKR;NAM JOO YOUNKR;CHOI JI YEONKR;KIM HAN KIKR;JEONG NAM JOKR;JWA EUN JINKR;
申请日2016-09-13
分类号C23C16/26;C01B3/50;C01B31/02;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 12:40:30