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METHOD FOR MANUFACTURING OPEN MASK ASSEMBLY USING FEMTO-SECOND LASER, OPEN MASK ASSEMBLY MANUFACTURED THEREBY, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING OPEN MASK ASSEMBLY

机译:使用第二次激光制造开口罩组件的方法,由此制造的开口罩组件以及制造开口罩组件的装置

摘要

The present invention relates to a method for manufacturing an open mask assembly, the open mask assembly manufactured thereby, and an apparatus for manufacturing the open mask assembly. The method for manufacturing an open mask assembly includes a first step of forming a plurality of preliminary openings on a thin film metal sheet; a second step of stretching the metal sheet on which the plurality of preliminary openings are formed and bonding the metal sheet to a mask frame; and a third step of trimming the plurality of preliminary openings on the metal sheet bonded to the mask frame to a predetermined design dimension by using a laser. Accordingly, the present invention can achieve high precision.;COPYRIGHT KIPO 2018
机译:开口掩模组件的制造方法,开口掩模组件以及制造该开口掩模组件的设备技术领域本发明涉及一种开口掩模组件的制造方法,由此制造的开口掩模组件以及用于制造该开口掩模组件的设备。制造开口掩模组件的方法包括第一步,在薄膜金属板上形成多个初步开口;第二步骤是拉伸其上形成有多个初步开口的金属板并将该金属板结合至掩模框架;第三步骤,通过使用激光将结合在掩模框架上的金属板上的多个初步开口修整为预定的设计尺寸。因此,本发明可以实现高精度。; COPYRIGHT KIPO 2018

著录项

  • 公开/公告号KR101869889B1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MWY CO. LTD.;

    申请/专利号KR20180059214

  • 发明设计人 KIM YOUNG JU;

    申请日2018-05-24

  • 分类号H01L51/56;G03F7/20;H01L21/033;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 12:37:40

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