公开/公告号DE102016207551A1
专利类型
公开/公告日2017-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;UNIVERSITÄT DUISBURG-ESSEN;
申请/专利号DE102016207551A1
申请日2016-05-02
分类号H01L35/32;H01L35/34;H01L27/16;B81B7/02;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 12:34:43