公开/公告号EP1618588B1
专利类型
公开/公告日2019-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS INSTRUMENTS INC.;
申请/专利号EP20040759827
发明设计人 TRULLI SUSAN C.;HOLBER WILLIAM M.;SHAO SHOUQIAN;COWE ANDREW B.;BESEN MATTHEW M.;CHEN XING;COLLINS JR RONALD W.;
申请日2004-04-12
分类号H01J37/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:30:34