公开/公告号JP2018185512A
专利类型
公开/公告日2018-11-22
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD;
申请/专利号JP20180083254
申请日2018-04-24
分类号G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;H01L27/32;H05B33/02;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/10;G02F1/1339;G03F7/20;G09F9/30;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:21:32