公开/公告号US10461216B2
专利类型
公开/公告日2019-10-29
原文格式PDF
申请/专利号US201715714749
申请日2017-09-25
分类号H01L33/06;H01L29/88;H01L33/32;H01S5/343;H01S5/14;H01S5/187;H01S5/02;H01S5/042;H01S5/183;H01L33;H01L33/12;C02F1/32;H01L29/20;H01L33/50;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:58