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End face inspection apparatus and focused image data acquisition method

机译:端面检查装置和聚焦图像数据获取方法

摘要

An end face inspection apparatus which inspects an end face of an test object, and includes optical system causing an image acquisition unit to form an image of an end face of a held test object, focusing degree changing means for changing a distance between the end face of the test object and a focal position of the optical system, and a control unit processing image data acquired in the image acquisition unit. The end face inspection apparatus acquires a series of image data which is output from the image acquisition unit at a preset time interval while the distance between the end face of the test object and the focal position of the optical system is changed, determines whether or not each piece of the image data is focused, and selects focused image data as image data for end face inspection.
机译:端面检查装置,其对检查对象物的端面进行检查,并且具有使图像获取部形成所保持的对象物的端面的图像的光学系统,以及用于改变端面之间的距离的聚焦度变更单元。测试对象的光学系统和光学系统的焦点位置,以及控制单元,处理在图像获取单元中获取的图像数据。端面检查设备在改变被检体的端面与光学系统的焦点位置之间的距离的同时,以预定的时间间隔获取从图像获取单元输出的一系列图像数据,从而确定是否对每张图像数据进行聚焦,并选择聚焦后的图像数据作为用于端面检查的图像数据。

著录项

  • 公开/公告号US10341550B2

    专利类型

  • 公开/公告日2019-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ANRITSU CORPORATION;

    申请/专利号US201715797457

  • 申请日2017-10-30

  • 分类号G01M11;H04N5/232;G06T7;G02B6;G02B6/38;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:14:09

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