首页> 外国专利> SYSTEM FOR AND METHOD OF MANUFACTURE USING MULTIMODAL ANALYSIS

SYSTEM FOR AND METHOD OF MANUFACTURE USING MULTIMODAL ANALYSIS

机译:使用多模态分析的制造系统和方法

摘要

The disclosed embodiments include systems and methods of manufacturing a product. The system may include a non-transitory computer readable medium comprising computer readable program code for performing the method. The method may include manufacturing batches of the product according to steps of a process flow, determining output data for each batch, sequencing the batches by output data, determining a plurality of modes of output data based on grouping the batches, identifying a detrimental factor to output data in a process flow step based on a correlation between the process flow step and a mode of the plurality of modes, and correcting the detrimental factor.
机译:所公开的实施例包括制造产品的系统和方法。该系统可以包括非暂时性计算机可读介质,该非暂时性计算机可读介质包括用于执行该方法的计算机可读程序代码。该方法可以包括根据工艺流程的步骤制造产品的批次,确定每个批次的输出数据,通过输出数据对批次进行排序,基于对批次的分组来确定输出数据的多种模式,识别有害因素来根据处理流程步骤和多个模式中的一个模式之间的相关性,在处理流程步骤中输出数据,并校正有害因素。

著录项

  • 公开/公告号US2019333795A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-10-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SEMICONDUCTOR COMPONENTS INDUSTRIES LLC;

    申请/专利号US201916391977

  • 发明设计人 LIEYI SHENG;

    申请日2019-04-23

  • 分类号H01L21/67;G05B19/418;G05B19/408;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:09:19

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号