公开/公告号US2019265019A1
专利类型
公开/公告日2019-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201716311193
发明设计人 MAARTEN JOZEF JANSEN;ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS VAN DER PASCH;SUZANNE JOHANNA ANTONETTA GEERTRUDA COSIJNS;
申请日2017-06-29
分类号G01B9/02;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:07:31