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PASSIVATION MIXTURE AND SYSTEMS AND METHODS FOR SELECTIVELY PASSIVATING SUBSTRATE MATERIALS INCLUDING GERMANIUM OR TYPE III-IV MATERIALS USING THE PASSIVATION MIXTURE

机译:钝化混合物以及使用钝化混合物选择性钝化包括锗或III-IV型材料的基质材料的系统和方法

摘要

A liquid passivation mixture for passivating an outer layer of a substrate comprises a first material selected from group consisting of sulfur or selenium and a base selected from a group consisting of quaternary ammonium compound, sodium hydroxide (NaOH), potassium hydroxide (KOH), and amine.
机译:用于钝化基板外层的液体钝化混合物包括选自硫或硒的第一材料和选自季铵化合物,氢氧化钠(NaOH),氢氧化钾(KOH)和碱的碱。胺。

著录项

  • 公开/公告号WO2018220532A1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-12-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LAM RESEARCH AG;LAM RESEARCH CORPORATION;

    申请/专利号WO2018IB53820

  • 发明设计人 DICTUS DRIES;

    申请日2018-05-29

  • 分类号H01L21/28;H01L21/02;H01L21/56;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:57:54

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