公开/公告号WO2019185233A1
专利类型
公开/公告日2019-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号WO2019EP53535
发明设计人 WEIJDEN IVO MATTEO LEONARDUS;RIEMENS ERWIN;MEELDIJK MENNO;VAN DONGEN JEROEN;LAMBREGTS CORNELIS JOHANNES HENRICUS;THIJSSEN THEO WILHELMUS MARIA;DE WIT RUUD RUDOLPHUS JOHANNES CATHARINUS;STRUIJS HANS MARINUS;CROMBAG ERIK MATHIJS MARIA;WERKMAN ROY;SCHUT MARIA HELENA;
申请日2019-02-13
分类号G03F7/20;H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:53:02