公开/公告号KR20190003027A
专利类型
公开/公告日2019-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE;
申请/专利号KR20170083456
申请日2017-06-30
分类号H01L35/32;H01L35/02;H01L35/14;H01L35/34;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:51:51