公开/公告号RU2686882C1
专利类型
公开/公告日2019-05-06
原文格式PDF
申请/专利号RU20180133872
发明设计人 AKIMOV VLADIMIR MIKHAJLOVICH (RU);BOLTAR KONSTANTIN OLEGOVICH (RU);VASILEVA LARISA ALEKSANDROVNA (RU);KLIMANOV EVGENIJ ALEKSEEVICH (RU);
申请日2018-09-26
分类号H01L21/66;H01L23/544;G01B11/14;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 11:46:17