公开/公告号EP3712817A1
专利类型
公开/公告日2020-09-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号EP20190164072
发明设计人 HASIBI FAEGHEH;VAN DIJK LEON PAUL;LARRANAGA MAIALEN;YPMA ALEXANDER;VAN HAREN RICHARD JOHANNES FRANCISCUS;
申请日2019-03-20
分类号G06N3/04;G06N3/08;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:40:07