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VANADIUM DIOXIDE-BASED OPTICAL AND RADIOFREQUENCY SWITCHES

机译：基于二氧化钒的光学和射频开关

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摘要

Switches for electromagnetic radiation, including radiofrequency switches and optical switches, are provided. Also provided are methods of using the switches. The switches incorporate layers of high quality VO2 that are composed of a plurality of connected crystalline VO2 domains having the same crystal structure and orientation.

机译：提供了用于电磁辐射的开关，包括射频开关和光学开关。还提供了使用开关的方法。这些开关包含高质量的VO2层，这些层由多个具有相同晶体结构和取向的连接的晶体VO2域组成。

著录项

公开/公告号EP3593374A1

专利类型
公开/公告日2020-01-15

原文格式PDF
申请/专利权人 WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION;
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申请/专利号EP20180764931
发明设计人 MA ZHENQIANG;EOM CHANG-BEOM;LEE JAESEONG;LEE DAESU;CHO SANG JUNE;LIU DONG;
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申请日2018-02-23
分类号H01L21/02;H01L29/10;H01L29/24;H01L29/66;H01L29/78;H01L45;H03K17/04;H03K17/51;H03K17/687;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:39:41

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