公开/公告号JP2020037743A
专利类型
公开/公告日2020-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH;
申请/专利号JP20190197272
发明设计人 ANDREAS KIRBS;CHRISTIAN WENDELN;EDITH STEINHAEUSER;SEBASTIAN ZARWELL;KEVIN SIGURT GOTTSCHALK;NISHIKIDO MAYUMI;
申请日2019-10-30
分类号C23C18/31;G01N27/416;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 11:37:40