公开/公告号US10475627B2
专利类型
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201615080961
发明设计人 CHENGZHU QI;YUKINORI SAKIYAMA;BIN LUO;DOUGLAS KEIL;PRAMOD SUBRAMONIUM;CHUNHAI JI;JOSEPH LINDSEY WOMACK;
申请日2016-03-25
分类号H01J37/32;H01L21/02;C23C16/50;C23C16/458;H01L21/67;H01L21/687;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:29:49