公开/公告号US10571812B2
专利类型
公开/公告日2020-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201816045979
发明设计人 FAHONG LI;MIGUEL GARCIA GRANDA;CARLO CORNELIS MARIA LUIJTEN;BART PETER BERT SEGERS;CORNELIS ANDREAS FRANCISCUS JOHANNES VAN DER POEL;FRANK STAALS;ANTON BERNHARD VAN OOSTEN;MOHAMED RIDANE;
申请日2018-07-26
分类号G03F7/20;G01M11/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:33